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钛钼和钛锆丝蒸发参数的测量:测量方法

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-09-22 0:17:33 * 浏览: 0
附着系数是通过在钛蒸发或蒸发过程中引入恒定的气体流量Q来确定的(为了减少背景的影响,需要引入Q来使背景压力增加1 mdash,1.5个数量级),然后测量吸气膜附近的压力。 p,计算在一定条件下膜表面的比泵吸速度S与理想比泵吸速度So的比值,即粘附系数a的测量值,a = S / So吸附容量q(Pa。 L / g)是恒定的。在电压下蒸发一定量的钛m [g]后,引入恒定的气流Q,并测量抽气速度与时间之间的关系。通过下式求出q = Qt / m。吸附饱和时间t定义为从泵送速度到初始泵送速度的减少。 50%的时间。所用的测量设备如图16-34所示,而测量罩中的压力p2由BA裸露压力表(安装在膜侧)指示。待测气体由玻璃膨胀系统通过毛细管填充。扩散器减少了定向流。气流的恒定流量Q是由恒定的膨胀前压Pi(由热电偶仪表指示)实现的。热电偶仪表分别针对H2,N2.C2,He进行了校准,并且还对流量Q进行了预校准。 BA裸规对氢的相对灵敏度为0.491。