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真空镀膜:蒸发源概述

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-09-04 2:31:12 * 浏览: 0
在真空涂层中,涂布机中常用的蒸发源包括电阻加热蒸发源,电子束加热蒸发源,中空热阴极等离子束蒸发源和感应加热蒸发源。在设计蒸发源时,应注意以下事项:1蒸发源应使膜具有较高的蒸发速率,并能储存足够的膜材料,2蒸发率易于控制,3长期工作稳定性较好,4蒸发源需要具有长寿命和高可靠性,低运行成本和易维护性。从气相沉积材料的观点来看,蒸发源应该能够气相沉积Al,Ti,Fe,Co,Cr及其合金,以及Si0,SiO 2,MgF,ZnS等。