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离子束蚀刻:快门时间控制器

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-07-31 1:43:18 * 浏览: 217
手电筒两用四连杆单叶片结构快门用于LSK-2型和LSK-3型离子束蚀刻设备。快门电磁阀由固定的30V电源驱动。通过切换继电器J3和J4的触点来改变快门动作方向。由于闸门的开闭动作在几秒钟内完成,电磁线圈的安培匝数很大,导线很薄,因此线圈不会被加热,电磁铁的供电电路是采用5 s延时通电电路设计。快门动作完成后,电磁阀断电。该电路由BG5,J9,BG6,J6等组成。快门时间控制器分为两种控制方式:分离控制和计算机控制光束控制。在手动控制期间,BG3和BG4的底座由钥匙开关直接控制,以控制快门的开启和关闭,外部控制(光束控制)将通过计算机发送信号电压,并通过差分连接窗口鉴别器比较器BG307。控制BG1和BG2的底座以控制快门的打开和关闭。