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真空泄漏检测技术和仪器:累积方法泄漏检测

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-07-29 14:05:44 * 浏览: 100
这种泄漏检测方法适用于泄漏小,泄漏量小的小型设备的泄漏检测,其特点是灵敏度高(当使用方法正确时,泄漏检测灵敏度可比灵敏度高几个数量级)。这个仪器)。具体的泄漏检测系统请参见图13-44。累积方法的泄漏检测过程是:仪器的正常操作和对被检查部件进行抽真空,关闭阀门S2以将检查件和检漏仪与辅助系统隔离,打开检漏仪的节流阀,检查件罩子连接到外面,泄漏检测器本身的高真空阀关闭(即Sc = 0),即泄漏检测器的质谱仪室和待检查物体停止泵送,此时,如果样品有泄漏率对于q的泄漏,在Δt时间之后,输出仪表指示将改变(假设泄漏是分子流泄漏),如公式13-93所示,并且z *小泄漏可检测率如公式13-94所示。在公式中,总和,Vimdash,mdash,被检部件的体积和系统的乘积,Qminmdash,mdash,z *泄漏检测器的小泄漏检测率,Scomdash,mdash,在离子源对应的Qmin抽速。可以看出,Δt越长,总和越小,Vi越大,泄漏检测的灵敏度越高。然而,随着Δt的增加,泄漏检测的灵敏度不会无限增加,因为在泵送停止后,当工作压力为工作压力时,由于排气和气体泄漏等,质谱仪室中的压力将升高。超过,将进行检查。泄漏无法完成。此外,仪器的背景和本底噪声也可能在累积过程中增加。