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使用低温吸收泵获得非常高的真空度

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-07-18 3:17:59 * 浏览: 3
当吸气剂冷冻至低温时,发现吸入量增加,吸附气体的粘附系数也增加。它比将光滑的金属表面冷冻到相同的低温的吸气效果要好得多。这种类型的泵通常被称为低温吸收泵。众所周知,分子筛可以冷却到液氮温度,以制造清洁无油的前级真空泵。类似地,假设分子筛冷却至20K或更低,并且可以在平板的冷冻表面上有效地除去He,Ne和H2。氢气在20K时的吸附概率为1,对于钌,SK的吸附概率也为1。将5A分子筛冷却至4.2K并用它来抽搐是有效的。在10-5Pamdash,10-6Pa范围内给出的吸附概率为0.7mdash,0.91,其吸附概率随分子筛温度的变化而变化,如图16-17所示。