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影响真空系统现实的因素 - 烘烤

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-07-06 0:14:36 * 浏览: 2
烘烤要在超高真空范围内(10-8 hPa)达到压力,必须满足以下条件:■真空泵的底部压力应小于所需极限压力的10倍。 ■■真空室和组件中使用的材料必须针对z *小型除气进行优化,并具有适当的表面光洁度等级。 ■■应使用金属密封件(例如,CF法兰连接或ISO法兰标准Helicoflex密封件)。 ■■超高真空需要清洁工作,即所有部件必须在安装前彻底清洁,并且必须戴上无油手套。 ■■设备和高真空泵必须烘烤。 ■■在启动加热器之前必须避免泄漏并消除。为此,必须使用氦泄漏检测器或四极质谱仪。烘烤显着增加了解吸速率和扩散性,这导致泵送时间大大缩短。作为z *制造过程中的一个步骤,UHV使用的腔室可以在高达900摄氏度的温度下降解。随后的烘烤温度可能达到300deg,C。泵制造商对高真空泵法兰z *高烘烤的描述温度通常将操作中的z *高温限制在120℃。如果在真空装置中使用热源(例如辐射加热),则不得超过允许的辐射功率。设备安装后投入运行。在达到10-5hPa的压力后,打开加热器。在加热过程中,真空计以10小时的间隔操作并脱气。如果使用具有适当表面处理等级的不锈钢容器和金属密封件,则120℃的烘烤温度和约48小时的加热时间足以达到10-10hPa的压力范围。烘烤应持续到达到预期极限压力的100倍。然后关闭泵和真空室中的加热器。冷却后,很可能达到所需的极限压力。当压力低于5 middot,10-10 hPa且内表面积大时,使用加气泵(钛升华泵)是有利的,该泵以高体积流量提取从金属逸出的氢气。 。