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常用的真空排气方法(1) - 纯排气工艺

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-06-21 12:49:18 * 浏览: 2
简单的排气过程是通过机械泵将容器从大气压和常温抽空至15Pa,然后应用高真空扩散泵进行泵送,直到气体释放量减少到允许范围。这是一种简单的z *普通排气方法,可实现高真空。低温容器的泵送效果极差,不仅泵送时间需要特别长,而且吸附剂不能再活化。它仅适用于不能加热的多层绝热加热器的排气。