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四极质谱检测器模块

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-06-13 18:25:01 * 浏览: 0
该模块是一个特殊的过程监控或气体分析设备,配备各种进气系统,并连接到气动涡轮泵泵站,用于清空分析仪:■HPA220高压分析仪,基于PrismaPlus。工艺压力高达50hPa,配有手动和自动进气系统■SPM220溅射过程监控器,基于PrismaPlus。具有多种进气选项,工艺压力可达10-2hPa或10hPa■SPM700溅射过程监控器基于HiQuad。与SPM220相同的工艺压力■EPD700用于在气相蚀刻过程中检测正离子,基于HiQuad。过程压力可达10-2hPa。