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超高真空系统的泵送技术

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-05-29 18:49:54 * 浏览: 0
用于超高真空系统的主泵是油扩散泵,溅射离子泵,钛泵(蒸发或升华的钛泵),涡轮分子泵,低温泵等。近年来,国内可用的锆铝吸气泵已与其他泵组合以获得超高真空。对于超高真空系统中使用的真空泵,除了通常的泵选择原则外,还有:1主泵的极限真空比真空装置的工作真空高一到一个数量级,如工作真空1小时,10 ^ -6Pa,那么真空装置的工作真空范围内泵的极限真空度至少为1倍,10 ^ -7Pa,2,真空泵应有足够的抽速去除装置中的气体,3个主泵或主泵入口到真空室排管,冷阱,挡板,阀门等的端口可以承受250deg,Cmdash,450deg,C的烘烤。当主泵选择性地泵送泵送的气体,它应配备一个用于泵送的辅助泵。用于真空泵的钢应为不锈钢。